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中国机械工程万博manxbet微纳制造技术分会学术论坛暨第二届一次委员会议在广州召开
作者: 中国机械工程万博manxbet工作总部 发表时间: 2019-11-29

 2019年11月11日上午,由中国机械工程万博manxbet微纳制造技术分会主办,西安交通大学、大连理工大学、陕西省机械工程万博manxbet承办的“中国机械工程万博manxbet微纳制造技术分会学术论坛暨第二届一次委员会议”在广州科学城会议中心召开,参会委员及会议代表共计91人。

       中国机械工程万博manxbet副秘书长左晓卫致辞,肯定了分会的工作,指出分会未来可以适当扩大会员规模,进一步加强国际化交流与合作。分会主任委员蒋庄德院士致开幕辞,他指出在大家的共同努力下,微纳制造技术分会完成了分会的各项工作,举办了多次国内外学术交流活动,发展了新会员,推动了微纳制造技术的发展与产业化,形成了多种高精产品,参与了国家创新发展与建设的各个方面,完成了上级交给的工作。

       会议讨论并确定了2020年微纳制造技术分会会议的召开时间与地点,明石创新产业技术研究院将承办会议。

       会议讨论并通过了设立中国机械工程万博manxbet微纳传感技术创新创业大赛的议题。该项议题由蒋庄德院士提出,他指出大赛的设立将弥补国内赛事在该领域的部分空缺。该项赛事旨在推动微纳技术创新,培养相关领域研究人员的创新意识,发掘优秀创新成果,加快微纳技术与传感器的智能应用等。赵立波教授进行了相关内容的详细介绍。

       与会人员对微纳制造技术分会今后的发展提出了建议与意见。蒋院士指出“中国在某些微纳技术领域被西方发达国家扼住了喉咙,我们需要弄清楚哪些是真的被扼住了,哪些是假的,更要弄清楚我们在哪些方面扼住了对方的喉咙。”大家反响热烈,纷纷发表自己的看法和建议。

       会上有7位专家学者作学术交流报告。
       哈尔滨工业大学张飞虎教授作了题为“KDP晶体飞切加工技术”的学术交流汇报。张飞虎教授首先介绍了KDP晶体的特点、NIF激光光路以及KDP晶体的应用,接下来针对切削等传统加工方法的缺陷讨论了飞切加工KDP晶体过程中存在的问题。最后通过表面形貌仿真与实验验证,探究加工机理工艺以及加工表面微波纹形成机制及其抑制措施。
       清华大学的李勇教授作了题为“微细电加工技术”的学术报告,报告探讨了微细电火花加工以及微细点解加工的关键技术问题。
       华中科技大学的刘胜教授作了题为“Modeling based development and challenges of key electronic manufacturing chain equipment”的学术报告。刘胜教授报告内容非常丰富,主要内容有“Development and challenges of CVD”、“Typical design and simulation”、“Nano-grinding for TSV contained wafer thinning”等。
       苏州大学陈林森教授作了题为“柔性微纳光制造的研究进展与应用”的学术报告。陈林森教授介绍了微纳光制造的研究与应用以及柔性光电子材料、器件,深入介绍了其自主研发微纳光制造平台体系的前沿与共性关键技术,还介绍了微纳3D光刻直写设备以及套准纳米压印的工业化等丰富内容。
       浙江大学居冰峰教授作了题为“维纳制造过程的显微成像”的学术报告。居冰峰教授主要介绍了微纳制造表面形貌测量以及微纳制造亚表面缺陷测量两大方面的内容。在微纳制造表面形貌测量方面,居冰峰教授通过在线监控的切割力图谱探究了结构阵列缺陷形状的在线测量与缺陷修复;在微纳制造亚表面缺陷测量中主要介绍了高频表面波与亚表面缺陷相互作用机理探究。
       中北大学薛晨阳教授作了题为“MEMS传感器与以医用仪器研究”的学术报告。薛晨阳教授主要介绍了其课题组研发的MEMS矢量水声传感器、基于水声传感器的心电心音监测仪以及基于CMUT的超声成像乳腺成像仪器,并且介绍了相关分辨性、标定测试以及透声封装等重要内容。
       华中科技大学的陈修国教授作了题为“面向IC制造的纳米光学测量现状、挑战与发展趋势”。在现状方面,主要介绍了纳米测量在IC制造中的作用要求以及实现途径等内容;对于挑战的分析,陈教授主要提出以下几点:关键尺寸不断缩小,复杂三维IC纳米结构,新材料不断引入。陈教授更是对未来发展趋势进行了预测,例如信息多样化的测量技术、多模式混合测量技术以及极短波长散射测量技术。

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